一種硅晶槽式濕法制絨循環(huán)過濾處理方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911411723.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111769053A 公開（公告）日 2020-10-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN111769053A 申請(qǐng)公布日 2020-10-13
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方再華;揚(yáng)艷景;韓光;馬艷林;盧春偉;亓延杰;孫國(guó)棟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 保定光為綠色能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京睿博行遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉桂榮
地址 071000河北省保定市高碑店市112線東側(cè)高固路北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅晶槽式濕法制絨循環(huán)過濾處理方法，屬于硅晶單元處理工藝領(lǐng)域，采用S1.制絨、S2.第一次水洗、S3.堿洗、S4.第二次水洗、S5.酸洗、S6.脫水烘干，清洗槽藥液采用循環(huán)過濾系統(tǒng)，有效降低硅酸鹽化合物和絡(luò)合物的累積，同時(shí)節(jié)省了化學(xué)品的用量，清洗干凈的制絨后硅片，避免了后續(xù)擴(kuò)散和燒結(jié)高溫?zé)o機(jī)物對(duì)光伏電池載流子的影響，制備的黑硅電池填充高，電性能參數(shù)優(yōu)。??