石英坩堝制備工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710483566.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN109112613B | 公開（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109112613B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-12 |
| 分類號(hào) | C30B15/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 杜興林;祝立君;于宏宇;章北銘;劉應(yīng)龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古歐晶科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 010020內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市金橋開發(fā)區(qū)世紀(jì)十八路（內(nèi)蒙古中環(huán)光伏院內(nèi)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種新型石英坩堝制備工藝，其包括如下步驟：(1)原料準(zhǔn)備，(2)預(yù)制前調(diào)試，(3)預(yù)制，(4)熔制前調(diào)試，(5)熔制。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，通過控制熔制過程中真空閥的開閉以及熔制條件，將微氣泡含量較多的氣泡復(fù)合層夾在微氣泡含量較少的透明層和薄氣泡外層之間，既保證了石英坩堝在拉晶工作時(shí)的熱源均勻的輻射，又保證了氣泡復(fù)合層內(nèi)的氣泡在拉晶過程中不漲裂，降低了因長時(shí)間拉晶工作時(shí)石英坩堝外表面氣泡膨脹破裂后與石墨坩堝的反應(yīng)，延緩兩者反應(yīng)后析晶層形成的時(shí)間，增加石英坩堝的使用壽命，使其使用壽命增加至190小時(shí)，比常規(guī)石英坩堝壽命增加90小時(shí)以上，可以滿足至少拉3?4根單晶棒的拉晶工藝需求。?? |
