一種低變形率石英坩堝及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911089440.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110820041A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110820041A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | C30B15/10;C04B35/14;C04B35/626;C04B35/657 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 徐曉軍;周澤;徐強(qiáng);谷守偉;高潤(rùn)飛;王林;王永青;何文兵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古歐晶科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 聶啟新 |
| 地址 | 214400 江蘇省無(wú)錫市周莊鎮(zhèn)長(zhǎng)青路2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種低變形率石英坩堝，所述石英坩堝采用的高純石英砂是含有以下?lián)诫s元素的二氧化硅材料，單位ppm；Al 13，B＜0.10，Ca 0.5，Co＜0.01，Cr＜0.01，Cu 0.03，F(xiàn)e 0.2，K 0.4，Li 0.6，Mg 0.02，Na 0.7，Ni＜0.01，Ti 1.3，Mn 0.02；所述高純石英砂在上述組成的基礎(chǔ)上進(jìn)行鋁元素、鋇元素或鉑元素的進(jìn)一步摻雜；所述鋁元素的摻雜量為5?20ppm；所述鋇元素的摻雜量為10?50ppm；所述鉑元素的摻雜量為5?60ppm。本發(fā)明石英砂鍋?zhàn)冃温实停哂辛己玫哪蜏囟葲_擊和較好的抗析晶特性。 |
