一種實(shí)驗(yàn)室用模塊化噴淋式濕電子化學(xué)品評(píng)價(jià)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021381258.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212722002U 公開(kāi)(公告)日 2021-03-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN212722002U 申請(qǐng)公布日 2021-03-16
分類(lèi)號(hào) G01M13/00(2019.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 李瀟逸;李歡;邢攸美;方偉華;施珂;謝良槐 申請(qǐng)(專利權(quán))人 杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州賽科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 郭薇
地址 311228浙江省杭州市蕭山區(qū)杭州蕭山臨江工業(yè)園區(qū)紅十五路9936號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種實(shí)驗(yàn)室用模塊化噴淋式濕電子化學(xué)品評(píng)價(jià)設(shè)備,包括配合設(shè)有控制器的處理裝置、多腔體裝置、運(yùn)送裝置;處理裝置包括設(shè)于多腔體裝置頂部的若干噴淋裝置和若干吹掃裝置;多腔體裝置包括順次連接的第一模塊、第三模塊、若干第二模塊、第三模塊和第一模塊,噴淋裝置或吹掃裝置配合設(shè)置在第二模塊頂部,前端和后端的第三模塊頂部分別設(shè)置噴淋裝置和吹掃裝置,兩個(gè)第三模塊對(duì)稱;運(yùn)送裝置與第二模塊和第三模塊配合。本實(shí)用新型適用于濕電子化學(xué)品開(kāi)發(fā)過(guò)程中小批量產(chǎn)品在線驗(yàn)證,參考價(jià)值高,避免評(píng)價(jià)偏差,充分滿足模擬;實(shí)驗(yàn)規(guī)模小,安裝成本低,物料可在濕電子化學(xué)品開(kāi)發(fā)公司現(xiàn)地考評(píng),反饋速度快,提高濕電子化學(xué)品的開(kāi)發(fā)速度。??