碳化硅晶片斜面磨削、研磨和拋光機(jī)及其操作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410750011.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104551900A 公開(kāi)（公告）日 2015-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN104551900A 申請(qǐng)公布日 2015-04-29
分類(lèi)號(hào) B24B7/22(2006.01)I;B24B37/10(2012.01)I;B24B29/02(2006.01)I;B24B47/12(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 周海 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東粵海金半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 鹽城工學(xué)院
地址 257029 山東省東營(yíng)市河口區(qū)海盛路898號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種碳化硅晶片斜面磨削、研磨和拋光機(jī)及其操作方法，它包括依次連接的支撐片（1）、旋轉(zhuǎn)軸（2）、驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）、電機(jī)支架（4）、垂直轉(zhuǎn)臂（5）、水平轉(zhuǎn)臂（6）、滑架（7）、螺桿（9）相連，螺桿（9）的下端依次連接有第一圓錐齒輪（12）、第二圓錐齒輪（13）、調(diào)節(jié)軸（14）和轉(zhuǎn)輪（15），支撐片（1）的下方安裝有碳化硅晶片的處理工具（19）。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，操作方便，工作效率高，可對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行斜面磨削、研磨和拋光一體化處理，工作效率高，能夠使拋光斜面的粗糙度＜0.1微米，加工精度高，適用性強(qiáng)。本發(fā)明處理方法，可用于平面圓形和非圓形碳化硅晶片的斜面磨削、研磨和拋光一體化加工處理。