一種自動稱重裝置及槽式濕法處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023177432.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213782035U 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN213782035U 申請公布日 2021-07-23
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;G01N5/04（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 易書令;胥洋;姜大俊;唐步玉;潘勵剛 申請（專利權(quán)）人 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 224000江蘇省鹽城市鹽城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)漓江路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種自動稱重裝置及槽式濕法處理設(shè)備，包括：上下料定位模塊、上下料稱重模塊和數(shù)據(jù)處理模塊；上下料定位模塊用于將放置有槽式濕法處理前的硅片的花籃運(yùn)輸至第一設(shè)定位置進(jìn)行固定；上下料稱重模塊用于對第一設(shè)定位置的花籃進(jìn)行稱重，并將獲取的第一重量發(fā)送至數(shù)據(jù)處理模塊；上下料定位模塊還用于將放置有槽式濕法處理后的硅片的花籃運(yùn)輸至第二設(shè)定位置進(jìn)行固定；上下料稱重模塊還用于對第二設(shè)定位置的花籃進(jìn)行稱重，并將獲取的第二重量發(fā)送至數(shù)據(jù)處理模塊；數(shù)據(jù)處理模塊還用于根據(jù)第一重量和第二重量，獲取硅片經(jīng)過槽式濕法處理后的減薄量。本實用新型提供的技術(shù)方案，可解決人工對硅片的制絨減薄量進(jìn)行稱重的精度較低的問題。