一種類單晶硅錠及其制備方法和應(yīng)用
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201911351011.3 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN113026100A | 公開(公告)日 | 2021-06-25 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113026100A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
分類號(hào) | C30B28/06;C30B29/06 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 陳偉;周碩 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 鞏克棟 |
地址 | 215129 江蘇省蘇州市高新區(qū)鹿山路199號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種類單晶硅錠及其制備方法和應(yīng)用,所述制備方法包括:(1)將至少一個(gè)第一板狀籽晶和至少一個(gè)第二板狀籽晶交替鋪設(shè)在坩堝底部;以[010]晶向?yàn)榛鶞?zhǔn),所述第一板狀籽晶的[001]端面相較于第二板狀籽晶的[001]端面沿中心旋轉(zhuǎn)θ,且10°≤θ≤80°;(2)鑄錠。本發(fā)明的方法避免了原生位錯(cuò)的問題,降低成本,且得到的硅錠能夠加工出正面均為[001]晶向的硅片。 |
