一種硅片檢測(cè)機(jī)構(gòu)及鍍膜設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022887834.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213459649U 公開(公告)日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN213459649U 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類號(hào) H01L21/66(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫津;劉恩華;張晨鑫;姜大俊 申請(qǐng)(專利權(quán))人 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 224000江蘇省鹽城市鹽城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)漓江路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,公開一種硅片檢測(cè)機(jī)構(gòu)及鍍膜設(shè)備。該硅片檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括傳輸組件、檢測(cè)組件和轉(zhuǎn)移組件,傳輸組件用于承接并傳輸?shù)拇兡す杵?,檢測(cè)組件位于傳輸組件的上方,檢測(cè)組件能夠檢測(cè)傳輸組件上的待鍍膜硅片的表面的反射率,轉(zhuǎn)移組件與檢測(cè)組件電連接,轉(zhuǎn)移組件被配置為根據(jù)檢測(cè)組件的檢測(cè)結(jié)果將待鍍膜硅片轉(zhuǎn)移至對(duì)應(yīng)的石英舟內(nèi)。本實(shí)用新型提供的硅片檢測(cè)機(jī)構(gòu),轉(zhuǎn)移組件能夠根據(jù)檢測(cè)組件的檢測(cè)結(jié)果將待鍍膜硅片轉(zhuǎn)移至對(duì)應(yīng)的石英舟內(nèi),以將待鍍膜硅片分類,每個(gè)石英舟對(duì)應(yīng)一種鍍膜工藝參數(shù),每個(gè)待鍍膜硅片均能在與其表面的反射率相匹配的工藝參數(shù)下進(jìn)行鍍膜處理,保證了硅片表面的鍍膜效果,產(chǎn)品質(zhì)量高。