一種MEMS圖像傳感器像元
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202020319042.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN211927104U | 公開(公告)日 | 2020-11-13 |
申請公布號 | CN211927104U | 申請公布日 | 2020-11-13 |
分類號 | G01J5/02(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 巨錦華;林曉東 | 申請(專利權(quán))人 | 中科微機電技術(shù)(北京)有限公司 |
代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 100085北京市海淀區(qū)西三旗昌臨813號A1號樓103室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種MEMS圖像傳感器像元,包括襯底、橋墩、橋面和橋臂,橋面通過橋臂和橋墩固定在襯底上,并通過橋墩中的引線將橋面上產(chǎn)生的電信號傳遞至襯底上的讀出電路,所述橋臂的橫截面呈周期性曲折狀。本實用新型將橋臂的橫截面設(shè)計成周期性曲折狀,可以在有限的空間內(nèi),更大限度的延長橋臂,從而減小熱導(dǎo),提升NETD指標(biāo)。?? |
