一種MEMS圖像傳感器像元

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020319042.2 申請日 -
公開(公告)號 CN211927104U 公開(公告)日 2020-11-13
申請公布號 CN211927104U 申請公布日 2020-11-13
分類號 G01J5/02(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 巨錦華;林曉東 申請(專利權(quán))人 中科微機電技術(shù)(北京)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100085北京市海淀區(qū)西三旗昌臨813號A1號樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種MEMS圖像傳感器像元,包括襯底、橋墩、橋面和橋臂,橋面通過橋臂和橋墩固定在襯底上,并通過橋墩中的引線將橋面上產(chǎn)生的電信號傳遞至襯底上的讀出電路,所述橋臂的橫截面呈周期性曲折狀。本實用新型將橋臂的橫截面設(shè)計成周期性曲折狀,可以在有限的空間內(nèi),更大限度的延長橋臂,從而減小熱導(dǎo),提升NETD指標(biāo)。??