偏振光圖像傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110755872.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113611715A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113611715A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L27/146（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 趙照;林曉東;聞棕?fù)?/td> | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中科微機(jī)電技術(shù)（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100085北京市海淀區(qū)西三旗昌臨813號(hào)A1號(hào)樓103室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種偏振光圖像傳感器及其制作方法，采用MEMS工藝制作光柵陣列，光柵陣列中的光柵單元懸空在基底的感光單元上方，并與感光單元對(duì)準(zhǔn)，橋墩結(jié)構(gòu)連接包含感光單元的基底與光柵單元，使光柵陣列具有良好結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。該光柵陣列通過(guò)直接在圖像傳感器基底采用MEMS工藝集成到圖像傳感器上，無(wú)需外部增加偏振裝置，節(jié)約了相機(jī)物理空間，減輕相機(jī)重量。另外，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N偏振光圖像傳感器中包含采用MEMS工藝制備的透鏡陣列，可使更多的光匯聚到感光單元，提高填充因子。 |
