具有旋轉(zhuǎn)交換雙工件臺的光刻裝置的曝光方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110067156.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112835271A | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN112835271A | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 顧崢;伍強;李艷麗 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 張磊;吳世華 |
| 地址 | 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢JT2216室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種具有旋轉(zhuǎn)交換雙工件臺的光刻裝置的曝光方法，所述光刻裝置包括曝光單元，所述曝光單元包括測量工位和曝光工位，所述測量工位執(zhí)行步驟包括第一測量步驟和第二測量步驟；所述曝光工位執(zhí)行步驟包括第一曝光步驟和第二曝光步驟；其中，所述第一曝光步驟包括曝光前準備、所述第一或第二工件臺的對準；所述第二曝光步驟包括對所述待處理晶圓執(zhí)行曝光工藝；所述第一及第二工件臺并行作業(yè)，同步執(zhí)行所述第一測量步驟與所述第一曝光步驟；或，同步執(zhí)行所述第二測量步驟與所述第二曝光步驟，從而提高曝光精度及優(yōu)化產(chǎn)能瓶頸。?? |
