柱形光柵干涉儀及讀數(shù)頭總成裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110067125.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112902832A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112902832A 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類(lèi)號(hào) G01B9/02;G01B11/26 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 伍強(qiáng);李艷麗 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;陳慧弘
地址 201800 上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種柱形光柵干涉儀及讀數(shù)頭總成裝置，其中，讀數(shù)頭總成裝置包括：包括讀數(shù)頭總成以及升降機(jī)構(gòu)，在零位狀態(tài)下，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線、所述柱形光柵尺的中心軸線、讀數(shù)頭總成的中心軸線同軸設(shè)置，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述讀數(shù)頭總成的底部，用于在所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)之前，將所述讀數(shù)頭總成提升至所述柱形光柵尺對(duì)應(yīng)的測(cè)量位置，以及在所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)完成轉(zhuǎn)動(dòng)之后，將所述讀數(shù)頭總成降低至低于所述柱形光柵尺的底面。本發(fā)明采用了柱形光柵尺和讀數(shù)頭總成可升降分離的架構(gòu)，能夠在工位交換轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，對(duì)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度進(jìn)行精密測(cè)量，并且在非交換轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)下，避免讀數(shù)頭總成撞到柱形光柵尺。