一種零位傳感器及檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110067141.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112902838A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112902838A 申請公布日 2021-06-04
分類號 G01B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 伍強;李艷麗;顧崢 申請（專利權）人 上海集成電路裝備材料產業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機構 上海天辰知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;陳慧弘
地址 201800 上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種零位傳感器及檢測系統(tǒng)，其中，零位傳感器包括設置在檢測對象底部的角反射器，角反射器包括三個相互垂直的反射面；設置在角反射器下方的光源和光強探測器，光源用于發(fā)出檢測光，光強探測器用于接收從角反射器的反射面反射回來的反射光，光強探測器包括四個象限的檢測分區(qū)和中央盲區(qū)，中央盲區(qū)與零位對應。本發(fā)明的光刻機的零位傳感器及檢測系統(tǒng)，實現了對檢測對象的橫向偏移和垂向偏移的快速準確的檢測，從而為檢測對象提供了可靠的零位基準，有助于檢測對象進行快速精準的零位調整。