一種旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)測控裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110067126.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112835270A | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN112835270A | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李艷麗;伍強 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） | 代理人 | 張磊;吳世華 |
| 地址 | 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢JT2216室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)測控裝置，包括：旋轉(zhuǎn)平臺、磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機、柱形光柵干涉儀，所述柱形光柵干涉儀包括柱形光柵尺、多個光柵尺讀數(shù)頭以及位于所述柱形光柵尺底部的平面干涉儀，柱形光柵干涉儀用于測量所述旋轉(zhuǎn)平臺轉(zhuǎn)動角度、在水平方向和豎直方向的偏移量以及在豎直方向的傾斜量；所述磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機根據(jù)所述柱形光柵干涉儀的測量結(jié)果，對旋轉(zhuǎn)平臺進行轉(zhuǎn)動控制，以及對水平方向和豎直方向的偏移量和豎直方向的傾斜量進行補償。本發(fā)明采用磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機對承載工件臺的旋轉(zhuǎn)平臺進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，使用柱形光柵干涉儀對轉(zhuǎn)動角度和偏移量進行實時測量和反饋補償及控制，從而確保旋轉(zhuǎn)平臺能夠精準地將工件臺交換到對應的工位。?? |
