一種旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)測(cè)控裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110067126.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112835270A | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112835270A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李艷麗;伍強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 張磊;吳世華 |
| 地址 | 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢JT2216室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)測(cè)控裝置，包括：旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)、柱形光柵干涉儀，所述柱形光柵干涉儀包括柱形光柵尺、多個(gè)光柵尺讀數(shù)頭以及位于所述柱形光柵尺底部的平面干涉儀，柱形光柵干涉儀用于測(cè)量所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)角度、在水平方向和豎直方向的偏移量以及在豎直方向的傾斜量；所述磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)根據(jù)所述柱形光柵干涉儀的測(cè)量結(jié)果，對(duì)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)控制，以及對(duì)水平方向和豎直方向的偏移量和豎直方向的傾斜量進(jìn)行補(bǔ)償。本發(fā)明采用磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)對(duì)承載工件臺(tái)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，使用柱形光柵干涉儀對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)角度和偏移量進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量和反饋補(bǔ)償及控制，從而確保旋轉(zhuǎn)平臺(tái)能夠精準(zhǔn)地將工件臺(tái)交換到對(duì)應(yīng)的工位。?? |
