一種光刻機(jī)的旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110067127.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112947007A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112947007A 申請公布日 2021-06-11
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李艷麗;伍強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;尹一凡
地址 201800 上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了光刻機(jī)的旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)裝置，包括：用于承載工件臺的旋轉(zhuǎn)平臺；磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)，使旋轉(zhuǎn)平臺作水平旋轉(zhuǎn)；感生電流線圈，用于測量所述旋轉(zhuǎn)平臺的轉(zhuǎn)動角度和平移量，并反饋給所述磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及進(jìn)行反饋控制；多個零位傳感器，用于測量所述旋轉(zhuǎn)平臺的在六個自由度上的偏移量，并反饋給所述磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)，觸發(fā)所述磁懸浮平面旋轉(zhuǎn)電機(jī)補(bǔ)償所述偏移量。本發(fā)明使用感生電流線圈對轉(zhuǎn)動角度和平移量進(jìn)行實時測量和反饋控制，還使用零位傳感器對六個自由度的偏移量進(jìn)行測量和補(bǔ)償，從而確保旋轉(zhuǎn)平臺能夠精準(zhǔn)地將工件臺交換到對應(yīng)的工位，減少了工件臺位置校準(zhǔn)所需的時間，提高了光刻處理效率。