一種非接觸式電容傳感器裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110067143.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112815817A 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN112815817A 申請公布日 2021-05-18
分類號 G01B7/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李艷麗;伍強 申請（專利權(quán)）人 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;尹一凡
地址 201800 上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種非接觸式電容傳感器裝置，包括第一支架，以及與第一支架相對的待測物體；第一支架中包括第一磁鐵、第一U型彈簧片、絕緣介質(zhì)層、電容器和夾板；第一磁鐵與第二磁鐵相對設(shè)置，待測物體與第二磁鐵一起移動，第一磁鐵通過連線連接第一U型彈簧片，第一U型彈簧片靠近第一磁鐵的一端固定連接絕緣介質(zhì)層；電容器包括正極板和負(fù)極板，正極板和負(fù)極板在垂直方向上交叉排列，絕緣介質(zhì)層平行于正極板和負(fù)極板，且部分位于相鄰的正極板和負(fù)極板之間，正極板和負(fù)極板連接至信號檢測單元；電容器被固定在夾板上。本發(fā)明通過磁鐵控制的非接觸式電容傳感器；可以通過電容變化確定待測物體的移動方向和位移，具有較高的響應(yīng)頻率。