一種改善傳輸遲滯的像元結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110062018.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112864183A 公開(公告)日 2021-05-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN112864183A 申請(qǐng)公布日 2021-05-28
分類號(hào) H01L27/146(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 范春暉;葛星晨 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 吳世華;尹一凡
地址 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種改善傳輸遲滯的像元結(jié)構(gòu),包括一個(gè)用于收集入射光線并進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生載流子的光電二極管、包括傳輸晶體管的多個(gè)場(chǎng)效應(yīng)晶體管以及一個(gè)浮置擴(kuò)散區(qū);其中,在光電二極管的上方介質(zhì)層中,設(shè)置多個(gè)金屬塊,并在金屬塊上施加不同的電壓,或在光電二極管側(cè)邊淺槽隔離區(qū),設(shè)置單個(gè)金屬塊,并在金屬塊上施加電壓,或兩種方式的結(jié)合,使得在光電二極管中形成具有方向性的電場(chǎng)分布。因此,本發(fā)明通過這種方式,可以實(shí)現(xiàn)在較短的傳輸晶體管開啟時(shí)間內(nèi),將光電二極管中的所有載流子傳輸?shù)礁≈脭U(kuò)散區(qū),從而提高了光電二極管中載流子的傳輸效率,改善了傳輸遲滯問題。??