光波導(dǎo)集成器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010071916.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113219681A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113219681A 申請公布日 2021-08-06
分類號 G02F1/03;G02F1/035 分類 光學(xué);
發(fā)明人 張秀全;朱厚彬;李真宇;薛海蛟;李洋洋;張濤 申請（專利權(quán)）人 濟南晶正電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉燦強;尹淑梅
地址 250101 山東省濟南市高新區(qū)港興三路北段1號濟南藥谷研發(fā)平臺區(qū)1號樓B座1806室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種光波導(dǎo)集成器件，所述光波導(dǎo)集成器件可以包括：襯底；第一隔離層，位于襯底上；光波導(dǎo)構(gòu)件，至少部分地嵌入第一隔離層中并與襯底分隔開；過渡層，設(shè)置在第一隔離層和光波導(dǎo)構(gòu)件上；以及光調(diào)制層，設(shè)置在過渡層上并且與光波導(dǎo)構(gòu)件的頂表面疊置。過渡層的位于光調(diào)制層與第一隔離層之間的部分和過渡層的位于光調(diào)制層與光波導(dǎo)構(gòu)件之間的部分可以具有不同的成分。