一種薄膜機(jī)械分離裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010108081.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113299576A 公開（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113299576A 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李洋洋;張秀全;李真宇;薛海蛟;張濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 濟(jì)南晶正電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 逯長明;許偉群
地址 250100山東省濟(jì)南市高新區(qū)港興三路北段1號(hào)濟(jì)南藥谷研發(fā)平臺(tái)1號(hào)樓B1806
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種薄膜機(jī)械分離裝置，包括：工作面、直線拉伸組件和與所述直線拉伸組件連接的活動(dòng)塊；所述直線拉伸組件帶動(dòng)所述活動(dòng)塊在垂直于所述工作面方向直線運(yùn)動(dòng)；所述活動(dòng)塊的底端安裝有第一吸附件；所述工作面上安裝有第二吸附件，所述第二吸附件與所述第一吸附件相對(duì)設(shè)置，所述第二吸附件與所述第一吸附件的吸附方向相反。使用時(shí)，將鍵合體的一面與第一吸附件接觸并吸附，另一面與第二吸附件接觸并吸附，在直線拉伸組件的拉伸作用下，薄膜材料沿離子注入層分離，分離后的薄膜材料余料完整無缺陷，經(jīng)過簡單的研磨或者拋光等后處理后即可重復(fù)利用，本申請(qǐng)?zhí)峁┑谋∧C(jī)械分離裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，同時(shí)不會(huì)損壞待處理的薄膜材料。