一種利用激光檢測(cè)半導(dǎo)體表面平整度的設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122082450.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215572761U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215572761U 申請(qǐng)公布日 2022-01-18
分類號(hào) G01B11/30（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 戴磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇佳晟精密設(shè)備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和聯(lián)順知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳菊
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)城北路北側(cè)非晶產(chǎn)業(yè)園三期16號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種利用激光檢測(cè)半導(dǎo)體表面平整度的設(shè)備，包括外殼，所述外殼為開(kāi)放式結(jié)構(gòu)，所述外殼的內(nèi)部設(shè)置有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上放置有半導(dǎo)體，所述工作臺(tái)的內(nèi)部設(shè)置有第一滑槽，所述第一滑槽的兩側(cè)貫穿工作臺(tái)向外設(shè)置有連接架，所述連接架與工作臺(tái)連接處設(shè)置有第二限位槽，所述連接架的上方固定連接有激光檢測(cè)儀，所述激光檢測(cè)儀的一側(cè)線性連接有導(dǎo)線，所述導(dǎo)線貫穿外殼向外設(shè)置有警示燈，所述激光檢測(cè)儀的上方設(shè)置有開(kāi)關(guān)，該設(shè)備整體簡(jiǎn)易使用，利用兩側(cè)的激光檢測(cè)儀聚焦對(duì)準(zhǔn)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體平面的一個(gè)檢測(cè)，表面平整度較差時(shí)，兩側(cè)的激光接收不到信號(hào)，從而觸發(fā)警示燈來(lái)提醒工作人員，大大增加該設(shè)備的實(shí)用性。