一種利用激光檢測半導體表面平整度的設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122082450.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215572761U 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN215572761U 申請公布日 2022-01-18
分類號 G01B11/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 戴磊 申請（專利權）人 江蘇佳晟精密設備科技有限公司
代理機構 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 陳菊
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)城北路北側非晶產(chǎn)業(yè)園三期16號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種利用激光檢測半導體表面平整度的設備，包括外殼，所述外殼為開放式結構，所述外殼的內(nèi)部設置有工作臺，所述工作臺上放置有半導體，所述工作臺的內(nèi)部設置有第一滑槽，所述第一滑槽的兩側貫穿工作臺向外設置有連接架，所述連接架與工作臺連接處設置有第二限位槽，所述連接架的上方固定連接有激光檢測儀，所述激光檢測儀的一側線性連接有導線，所述導線貫穿外殼向外設置有警示燈，所述激光檢測儀的上方設置有開關，該設備整體簡易使用，利用兩側的激光檢測儀聚焦對準來實現(xiàn)對半導體平面的一個檢測，表面平整度較差時，兩側的激光接收不到信號，從而觸發(fā)警示燈來提醒工作人員，大大增加該設備的實用性。