一種用于電子皮膚的柔性壓力傳感器及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810848819.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109100075B 公開（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN109100075B 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) G01L7/08（2006.01）I;G01L1/16（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張玉英 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽唯詩楊信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王俊曉
地址 321300 浙江省金華市永康市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)北湖路116號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于電子皮膚的技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于電子皮膚的柔性壓力傳感器及制備方法。該方法通過激光刻蝕制得具有錐形微孔的硅模板，然后涂覆含固化劑的聚二甲基硅氧烷，固化后剝離得到錐形結(jié)構(gòu)的聚二甲基硅氧烷柔性基板，再噴涂石墨烯/聚苯胺分散液形成透明導(dǎo)電薄膜，進(jìn)一步封裝氧化錫銻電極及聚醚酰亞胺襯底，制得柔性壓力傳感器。與傳統(tǒng)方法相比，本發(fā)明制備的壓力傳感器，不僅具有良好的柔性，臨界拉應(yīng)變和臨界壓應(yīng)變較高，而且對(duì)微壓力具有超高的靈敏度，探測(cè)極限低，響應(yīng)時(shí)間短，適合用于電子皮膚。