藍光光盤用母盤及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110084346.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102270472B 公開（公告）日 2013-11-27
申請公布號 CN102270472B 申請公布日 2013-11-27
分類號 G11B7/26(2006.01)I;G11B7/2403(2013.01)I 分類 信息存儲;
發(fā)明人 葉健;劉彤;楊明生 申請（專利權(quán)）人 河南凱瑞數(shù)碼股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 河南凱瑞數(shù)碼股份有限公司
地址 455000 河南省安陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)海河大道東段
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍光光盤用母盤的制造方法，該方法在形成光刻膠層前先在基片上形成一層碳化吸光層，并將光刻膠層形成于碳化吸光層上，因此，在后續(xù)的曝光及顯影過程中，碳化吸光層能有效減少光線在界面上的反射，增加光刻膠層下表面的光能吸收，進而提高光線的吸收率，來提高光刻膠的感光分辨率，以增加光刻膠層底部的曝光寬度，使光刻膠層底部的曝光寬度接近上表面的寬度，增加溝槽斜率，從而提高溝槽密度以滿足藍光光盤的精度要求；另，本發(fā)明還公開了一種利用上述制造方法制造得到的藍光光盤用母盤，其在曝光及顯影后能有效提高光刻膠層的溝槽密度，從而滿足藍光光盤的精度要求。