一種多晶硅及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711313319.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107777689A 公開（公告）日 2018-03-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN107777689A 申請(qǐng)公布日 2018-03-09
分類號(hào) C01B33/035 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 王建鑫;郭曉剛;吳一兵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西賽維LDK光伏硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;熊永強(qiáng)
地址 338000 江西省新余市高新經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)馬洪工業(yè)基地賽維工業(yè)園專利辦公室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多晶硅的制備方法，包括以下步驟：提供多晶硅反應(yīng)爐，所述多晶硅反應(yīng)爐中設(shè)有與電極連接的熱載體，所述熱載體包括鎢絲和與所述鎢絲連接的金屬管，所述金屬管的材質(zhì)包括鉭、鉬和鈦中的至少一種；將所述熱載體通電加熱，當(dāng)所述熱載體溫度達(dá)到1000?1100℃時(shí)，向所述多晶硅反應(yīng)爐中通入原料氣體，所述原料氣體在所述熱載體表面沉積生成棒狀多晶硅。本發(fā)明提供的多晶硅的制備方法，不再需要高電壓擊穿及預(yù)加熱器擊穿硅芯的工藝方式，優(yōu)化了運(yùn)行前的反應(yīng)器準(zhǔn)備時(shí)間，提高了多晶硅的生產(chǎn)效率，降低了電氣控制系統(tǒng)的復(fù)雜性及故障率，制備方法簡單易操作。本發(fā)明還提供了上述制備方法制得的多晶硅。