透光薄膜厚度測(cè)量方法、系統(tǒng)及終端設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710638899.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107687815A 公開（公告）日 2018-02-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN107687815A 申請(qǐng)公布日 2018-02-13
分類號(hào) G01B11/06 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 蔣仕龍;陳方涵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市港科才盛科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深港產(chǎn)學(xué)研基地;深圳市港科才盛科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園南區(qū)科苑南路高新七道15號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于薄膜技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種透光薄膜厚度測(cè)量方法、系統(tǒng)及終端設(shè)備，基于薄膜厚度檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)，所述薄膜厚度檢測(cè)裝置包括光源、擴(kuò)散板和相機(jī)。本發(fā)明實(shí)施例通過提供一種由光源、擴(kuò)散板和相機(jī)構(gòu)成的薄膜厚度檢測(cè)裝置，用于進(jìn)行透光薄膜厚度測(cè)量，可以有效簡(jiǎn)化裝置結(jié)構(gòu)、提高檢測(cè)速度、滿足較寬的測(cè)量范圍要求并有效降低成本；通過調(diào)節(jié)相機(jī)的拍攝參數(shù)可以有效降低由于相機(jī)硬件結(jié)構(gòu)造成的檢測(cè)誤差，通過采用光密度計(jì)量法結(jié)合預(yù)設(shè)修正函數(shù)來計(jì)算薄膜的厚度值，可以有效提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。