透光薄膜厚度測量方法、系統(tǒng)及終端設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710638899.3 申請日 -
公開（公告）號 CN107687815B 公開（公告）日 2018-02-13
申請公布號 CN107687815B 申請公布日 2018-02-13
分類號 G01B11/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 蔣仕龍;陳方涵 申請（專利權）人 深圳市港科才盛科技有限公司
代理機構 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 深港產(chǎn)學研基地;深圳市港科才盛科技有限公司
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)高新技術產(chǎn)業(yè)園南區(qū)科苑南路高新七道15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明適用于薄膜技術領域，提供了一種透光薄膜厚度測量方法、系統(tǒng)及終端設備，基于薄膜厚度檢測裝置實現(xiàn)，所述薄膜厚度檢測裝置包括光源、擴散板和相機。本發(fā)明實施例通過提供一種由光源、擴散板和相機構成的薄膜厚度檢測裝置，用于進行透光薄膜厚度測量，可以有效簡化裝置結構、提高檢測速度、滿足較寬的測量范圍要求并有效降低成本；通過調節(jié)相機的拍攝參數(shù)可以有效降低由于相機硬件結構造成的檢測誤差，通過采用光密度計量法結合預設修正函數(shù)來計算薄膜的厚度值，可以有效提高檢測結果的準確性。??