發(fā)光二極管外延結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811510723.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109638129B 公開(kāi)(公告)日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN109638129B 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類(lèi)號(hào) H01L33/32;H01L33/02;H01L33/00 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭麗彬;周長(zhǎng)健;程斌 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥和瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 王挺;魏玉嬌
地址 315336 浙江省寧波市杭州灣新區(qū)玉海東路136號(hào)數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)園B區(qū)14號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種發(fā)光二極管外延結(jié)構(gòu)的制備方法,所述方法包括,提供一襯底,其中所述襯底上設(shè)有第一電極;在所述襯底上形成N型半導(dǎo)體層;在所述N型半導(dǎo)體層上形成發(fā)光層;在所述發(fā)光層上形成P型半導(dǎo)體層;在所述P型半導(dǎo)體層上形成P型接觸層;其中所述P型接觸層的生長(zhǎng)速率小于0.35um/h,且厚度小于等于并具有鎂的摻雜濃度大于等于1.00E+20atoms/cm3。利用本發(fā)明,可有效改善器件冷熱比性能,提高器件的光電效應(yīng),獲得光電性能良好的發(fā)光二極管。