一種IC級(jí)硅片退火用石英舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120497174.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214588767U 公開（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN214588767U 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭城;呂明;李充;王永超;惠大成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古科晟科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山東瑞宸知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 015000內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)富源北路與新華東街十字路口東500米路北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種IC級(jí)硅片退火用石英舟，包括底部托架、上部框架、擋板一、擋板二、三角板、上部橫桿和底部橫桿，所述擋板一垂直于底部托架固定連接，所述擋板二垂直于底部托架固定連接，所述擋板一和擋板二的頂部均設(shè)有定位槽，所述擋板一頂部的定位槽包括定位槽一、定位槽二、定位槽三和定位槽四，所述擋板二頂部的定位槽包括定位槽五、定位槽六、定位槽七和定位槽八，所述三角板固定在底部托架和擋板一之間，所述上部橫桿設(shè)置在上部框架縱向框架之間，所述底部橫桿設(shè)置在底部托架縱向框架之間。本實(shí)用新型通過(guò)擋板上定位槽的設(shè)置，使得使用者在對(duì)不同規(guī)格的硅片進(jìn)行退火處理時(shí)，只需要更換相應(yīng)尺寸的上部框架即可，操作方便，節(jié)約成本。