一種大功率濺射電源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111666013.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114337302A 公開（公告）日 2022-04-12
申請公布號 CN114337302A 申請公布日 2022-04-12
分類號 H02M3/335（2006.01）I;H02M1/00（2007.01）I;H02M1/32（2007.01）I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 廖曉斌;盛建科;劉湘;羅萬里;詹柏青 申請（專利權）人 湖南福德電氣有限公司
代理機構 東莞創(chuàng)博知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 陳柏陶
地址 523899廣東省東莞市虎門鎮(zhèn)白沙三村工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種大功率濺射電源，包括依序電連接的整流電路、逆變電路、變壓器、濾波電路以及控制器、存儲介質，存儲介質存儲有程序，程序被控制器執(zhí)行時實現以下步驟：實時檢測輸出整流濾波電路的輸出電壓和輸出電流；以輸出電壓和輸出電流的乘積作為輸出功率，將輸出功率與目標功率值的差值經PI調節(jié)器獲得電壓有效值；將電壓有效值與輸出電壓的差值經PI調節(jié)器調節(jié)得到PWM調制波用以控制可控H橋逆變電路中各個開關管的通斷。本發(fā)明能夠實現大功率濺射電源在半導體關鍵工藝設備上的可靠使用。