一種用于碳化硅外延的氣體分流裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920617251.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209941142U 公開（公告）日 2020-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN209941142U 申請(qǐng)公布日 2020-01-14
分類號(hào) C30B25/14（2006.01）; C30B29/36（2006.01） 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 沈文杰; 傅林堅(jiān); 周建燦; 邵鵬飛; 湯承偉; 周航; 潘禮錢 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州弘晟智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 周世駿
地址 311100 浙江省杭州市余杭區(qū)龍船塢路96號(hào)2幢3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型主要應(yīng)用于半導(dǎo)件外延生長(zhǎng)設(shè)備，具體涉及一種用于碳化硅外延的氣體分流裝置。包括分流腔室；分流腔室前端設(shè)有分流板與分流罩，分流腔室分流板上設(shè)有若干橫向的通孔；分流罩內(nèi)部中空并設(shè)有兩個(gè)橫向的隔板，將罩體按1：3：1體積比隔開；分流腔室內(nèi)在相應(yīng)位置也設(shè)有兩塊隔板，將分流腔室分為三部分，各個(gè)部分后端各設(shè)有一根金屬波紋卡套管；分流腔室外部設(shè)有鎖緊裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)難度不大，維護(hù)方便。