一種離子注入機用檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022584863.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213635896U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213635896U 申請公布日 2021-07-06
分類號 H01J37/317;H01J37/244 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳維 申請（專利權）人 無錫凱世通科技有限公司
代理機構 江蘇弘揚知識產權代理有限公司 代理人 劉錦霞
地址 214000 江蘇省無錫市新區(qū)碩放新312國道西側，錫錦路北側地塊201室（空港產業(yè)園內）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及檢測裝置領域，且公開了一種離子注入機用檢測裝置，包括檢測裝置本體，檢測裝置本體一側的一端固定設有檢測端，檢測端外壁的一側固定設有定位扣，定位扣一側的兩端均固定設有定位桿，兩個定位桿外壁的一端均滑動設有定位環(huán)，本實用新型離子注入機用檢測裝置,通過檢測端外壁固定設有定位扣，定位扣一側的兩端通過定位桿固定兩個定位環(huán)，兩個定位環(huán)卡合在檢測口外壁的兩端，兩個定位環(huán)的兩端通過第一螺絲和第一螺帽固定對應連接，使得檢測口穩(wěn)定在檢測端的一側，使得檢測裝置本體的檢測更加穩(wěn)定，便于隨時觀察和調整離子注入劑量，提高離子注入效率，使得離子注入機的注入更加精準。