一種離子注入機用抽真空裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022582245.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213635895U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213635895U 申請公布日 2021-07-06
分類號 H01J37/317;H01J37/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳維 申請（專利權）人 無錫凱世通科技有限公司
代理機構(gòu) 江蘇弘揚知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 劉錦霞
地址 214000 江蘇省無錫市新區(qū)碩放新312國道西側(cè)，錫錦路北側(cè)地塊201室（空港產(chǎn)業(yè)園內(nèi)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及離子注入機技術領域，且公開了一種離子注入機用抽真空裝置，包括離子注入機本體，離子注入機本體的一側(cè)中間與抽氣桿的一側(cè)固定連接，抽氣桿的內(nèi)壁與方型滑塊的外壁滑動連接，方型滑塊的一側(cè)中間與第一連接桿的一側(cè)中間位置固定連接，本實用新型通過第二連接桿的另一側(cè)與第二轉(zhuǎn)軸外壁的頂部固定連接，當?shù)诙D(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時，第二轉(zhuǎn)軸通過第二連接桿帶動第一轉(zhuǎn)軸在半圓形底座的半圓形滑槽內(nèi)轉(zhuǎn)動，最終使第一連接桿跟隨半圓形底座進行往復運動，第一連接桿往復運動的同時便在抽氣桿內(nèi)對離子注入機本體的加速器內(nèi)進行抽取空氣，解決了外接的真空裝置抽取真空效果不明顯的問題。