一種離子注入機(jī)用擺動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022582271.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213601837U 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN213601837U 申請公布日 2021-07-02
分類號 H01J37/317（2006.01）I;H01J37/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳維 申請（專利權(quán)）人 無錫凱世通科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇弘揚(yáng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉錦霞
地址 214000江蘇省無錫市新區(qū)碩放新312國道西側(cè)，錫錦路北側(cè)地塊201室（空港產(chǎn)業(yè)園內(nèi)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及離子注入機(jī)擺動的技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種離子注入機(jī)用擺動裝置，包括離子注入機(jī)外防護(hù)筒外壁兩側(cè)的兩端均轉(zhuǎn)動設(shè)有轉(zhuǎn)動軸，四個轉(zhuǎn)動軸的一端均固定設(shè)有支撐板，四個支撐板一端的一側(cè)均固定設(shè)有固定軸，四個固定軸一端的外壁均套設(shè)有固定環(huán)，其中兩個固定軸的外壁均傳動設(shè)有緩沖桿，兩個緩沖桿內(nèi)壁的一端分別與另外兩個固定軸的外壁傳動連接，本實(shí)用新型一種離子注入機(jī)用擺動裝置，通過在裝置上設(shè)置有支撐擺動裝置，在兩側(cè)的連接桿以及支撐柱組成的支撐裝置的配合下，可保證離子注入機(jī)在其中間可以穩(wěn)定擺動，且得到一定的緩沖效果，避免裝置擺動過度而導(dǎo)致?lián)p壞，從而提高裝置的使用壽命。