一種自動(dòng)標(biāo)記壞點(diǎn)的芯片測(cè)試裝置及測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210218376.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114295730A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114295730A 申請(qǐng)公布日 2022-04-08
分類(lèi)號(hào) G01N29/06（2006.01）I;G01N29/04（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 黃海林;黃靜;鄭衛(wèi)華;何慧穎;王理想 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 神州龍芯智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226000江蘇省南通市崇川區(qū)江海財(cái)富大廈B座17層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于芯片檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種自動(dòng)標(biāo)記壞點(diǎn)的芯片測(cè)試裝置及測(cè)試方法，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，現(xiàn)提出以下方案，包括外箱體，所述外箱體的頂部外壁中間位置開(kāi)有圓孔，且圓孔的側(cè)面內(nèi)壁固定連接有內(nèi)殼體，內(nèi)殼體的側(cè)面外壁設(shè)置有固定連接于外箱體頂部?jī)?nèi)壁的外殼體，所述內(nèi)殼體的底部設(shè)置有固定連接于外箱體側(cè)面內(nèi)壁的支撐板，且支撐板的底部外壁固定連接有延伸至內(nèi)殼體內(nèi)部的探頭，外箱體的底部?jī)?nèi)壁固定連接有超聲波掃描顯微鏡。本發(fā)明通過(guò)探頭對(duì)芯片進(jìn)行掃描并與完好的芯片掃描圖進(jìn)行對(duì)比后得到芯片上壞點(diǎn)的位置，再通過(guò)標(biāo)記機(jī)構(gòu)在壞點(diǎn)的位置上標(biāo)記墨點(diǎn)，進(jìn)而使得后續(xù)檢修人員能快速定位到芯片上的壞點(diǎn)，方便了芯片后續(xù)的檢修。