一種自動標記壞點的芯片測試裝置及測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210218376.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114295730B 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114295730B 申請公布日 2022-05-27
分類號 G01N29/06（2006.01）I;G01N29/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃海林;黃靜;鄭衛(wèi)華;何慧穎;王理想 申請（專利權(quán)）人 神州龍芯智能科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 226000江蘇省南通市崇川區(qū)江海財富大廈B座17層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于芯片檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種自動標記壞點的芯片測試裝置及測試方法，針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，現(xiàn)提出以下方案，包括外箱體，所述外箱體的頂部外壁中間位置開有圓孔，且圓孔的側(cè)面內(nèi)壁固定連接有內(nèi)殼體，內(nèi)殼體的側(cè)面外壁設(shè)置有固定連接于外箱體頂部內(nèi)壁的外殼體，所述內(nèi)殼體的底部設(shè)置有固定連接于外箱體側(cè)面內(nèi)壁的支撐板，且支撐板的底部外壁固定連接有延伸至內(nèi)殼體內(nèi)部的探頭，外箱體的底部內(nèi)壁固定連接有超聲波掃描顯微鏡。本發(fā)明通過探頭對芯片進行掃描并與完好的芯片掃描圖進行對比后得到芯片上壞點的位置，再通過標記機構(gòu)在壞點的位置上標記墨點，進而使得后續(xù)檢修人員能快速定位到芯片上的壞點，方便了芯片后續(xù)的檢修。