一種提高LED亮度的外延方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910881462.1 申請日 -
公開(公告)號 CN110676356B 公開(公告)日 2020-01-10
申請公布號 CN110676356B 申請公布日 2020-01-10
分類號 H01L33/00(2010.01)I; 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭鵬 申請(專利權(quán))人 陜西飛米企業(yè)管理合伙企業(yè)(有限合伙)
代理機構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 韓玙
地址 710075陜西省西安市高新區(qū)發(fā)展大道18號飛秒研發(fā)辦公室107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種提高LED亮度的外延方法,傳統(tǒng)LED的多重量子阱生長過程中,在最后一層量子壘結(jié)束后,新增一層不同于量子壘的外延粗化層,其中反應(yīng)室內(nèi)氣氛環(huán)境依舊沿用量子壘生長條件,即反應(yīng)室內(nèi)氣氛環(huán)境為V族氣體源載氣及通入反應(yīng)室內(nèi)氣體,新增后的LED外延結(jié)構(gòu)依次為接觸層、P型摻雜層、P型阻滯層、外延粗化層、多重量子阱、應(yīng)力釋放層、N型阻滯層、N型摻雜層、非摻雜層、緩沖層和襯底。本發(fā)明用于提高LED的亮度和器件效率。??