一種用于氣相沉積設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)的尾氣收集環(huán)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810343403.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108588818A 公開(kāi)（公告）日 2018-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN108588818A 申請(qǐng)公布日 2018-09-28
分類(lèi)號(hào) C30B25/02;C23C16/44 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 張超奇 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 陜西飛米企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專(zhuān)利事務(wù)所 代理人 杜娟
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)發(fā)展大道18號(hào)飛秒研發(fā)辦公室107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于氣相沉積設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)的尾氣收集環(huán)，由石墨制備而成；其結(jié)構(gòu)包括有環(huán)狀的上蓋以及位于上蓋下方且與上蓋配合安裝的環(huán)狀的下蓋，上蓋下表面位于環(huán)狀上蓋的內(nèi)環(huán)和外環(huán)處均設(shè)置有環(huán)狀的第一凸臺(tái)，下蓋的上表面與第一凸臺(tái)對(duì)應(yīng)處設(shè)置有環(huán)狀的第二凸臺(tái)，第一凸臺(tái)分別和對(duì)應(yīng)的第二凸臺(tái)配合，第一凸臺(tái)、第二凸臺(tái)、上蓋及下蓋之間形成一環(huán)狀的腔體，位于下蓋內(nèi)環(huán)處的第二凸臺(tái)上均勻開(kāi)設(shè)有多個(gè)氣孔，下蓋上還開(kāi)設(shè)有排氣孔。解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的鉬金屬材質(zhì)的尾氣收集環(huán)在高溫下容易變形進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)品穩(wěn)定性差以及使用壽命短的問(wèn)題。