一種用于Aixtron2800G4設(shè)備的局部管路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822231739.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209685910U 公開（公告）日 2019-11-26
申請公布號 CN209685910U 申請公布日 2019-11-26
分類號 C23C16/44（2006.01） 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張超奇 申請（專利權(quán)）人 陜西飛米企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 談耀文
地址 710000 陜西省銅川市高新區(qū)發(fā)展大道18號飛秒研發(fā)辦公樓107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于Aixtron2800G4設(shè)備的局部管路系統(tǒng)，包括Aixtron 2800 G4的過濾器，過濾器的輸出端通過管道d連接泵b；泵b為抽Aixtron 2800 G4設(shè)備中反應(yīng)腔內(nèi)氣體的泵；泵b通過管道c與排風(fēng)連接。本實用新型降低了設(shè)備運行時的故障率，同時降低了設(shè)備維修保養(yǎng)成本。