一種鋁鈦硼靶材及其粉末固相合金化燒結(jié)方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010398120.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111455329A | 公開(公告)日 | 2020-07-28 |
申請公布號 | CN111455329A | 申請公布日 | 2020-07-28 |
分類號 | C23C14/34(2006.01)I | 分類 | - |
發(fā)明人 | 余琨;余鵬 | 申請(專利權(quán))人 | 長沙迅洋新材料科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 長沙軒榮專利代理有限公司 | 代理人 | 長沙迅洋新材料科技有限公司;湖南匯動新材料有限公司 |
地址 | 410000湖南省長沙市雨花區(qū)振華路109號康庭園項目20號棟四樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種鋁鈦硼靶材及其粉末固相合金化燒結(jié)方法,包括以下步驟:步驟1:稱量、混合;步驟2:球磨機(jī)械合金化;步驟3:熱壓燒結(jié);步驟4:脫模;步驟5:退火處理;步驟6:鍛造。本發(fā)明將高含量的鈦和硼加入到鋁基體中制成鋁鈦硼合金靶材,其中,鈦的含量可以高達(dá)80%,硼的含量可以高達(dá)20%;在鋁鈦硼三元合金的基礎(chǔ)上,還可以加入其它組元獲得更多組元的合金靶材;由于采用較低溫度和較大壓力的固相燒結(jié)方法,避免了低熔點(diǎn)合金元素的熔化和流動,通過擴(kuò)散作用,實(shí)現(xiàn)高熔點(diǎn)元素與低熔點(diǎn)元素之間的合金化;本發(fā)明工藝流程短,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,生產(chǎn)成本低,適合批量化生產(chǎn)。?? |
