一種鋁鈦硼靶材及其粉末固相合金化燒結(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010398120.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111455329A 公開（公告）日 2020-07-28
申請公布號 CN111455329A 申請公布日 2020-07-28
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 余琨;余鵬 申請（專利權(quán)）人 長沙迅洋新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙軒榮專利代理有限公司 代理人 長沙迅洋新材料科技有限公司;湖南匯動新材料有限公司
地址 410000湖南省長沙市雨花區(qū)振華路109號康庭園項目20號棟四樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種鋁鈦硼靶材及其粉末固相合金化燒結(jié)方法，包括以下步驟：步驟1：稱量、混合；步驟2：球磨機(jī)械合金化；步驟3：熱壓燒結(jié)；步驟4：脫模；步驟5：退火處理；步驟6：鍛造。本發(fā)明將高含量的鈦和硼加入到鋁基體中制成鋁鈦硼合金靶材，其中，鈦的含量可以高達(dá)80％，硼的含量可以高達(dá)20％；在鋁鈦硼三元合金的基礎(chǔ)上，還可以加入其它組元獲得更多組元的合金靶材；由于采用較低溫度和較大壓力的固相燒結(jié)方法，避免了低熔點(diǎn)合金元素的熔化和流動，通過擴(kuò)散作用，實(shí)現(xiàn)高熔點(diǎn)元素與低熔點(diǎn)元素之間的合金化；本發(fā)明工藝流程短，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，生產(chǎn)成本低，適合批量化生產(chǎn)。??