一種鋁鈦硼靶材及其粉末固相合金化燒結(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010398120.7 申請日 -
公開(公告)號 CN111455329A 公開(公告)日 2020-07-28
申請公布號 CN111455329A 申請公布日 2020-07-28
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 余琨;余鵬 申請(專利權(quán))人 長沙迅洋新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙軒榮專利代理有限公司 代理人 長沙迅洋新材料科技有限公司;湖南匯動新材料有限公司
地址 410000湖南省長沙市雨花區(qū)振華路109號康庭園項目20號棟四樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種鋁鈦硼靶材及其粉末固相合金化燒結(jié)方法,包括以下步驟:步驟1:稱量、混合;步驟2:球磨機(jī)械合金化;步驟3:熱壓燒結(jié);步驟4:脫模;步驟5:退火處理;步驟6:鍛造。本發(fā)明將高含量的鈦和硼加入到鋁基體中制成鋁鈦硼合金靶材,其中,鈦的含量可以高達(dá)80%,硼的含量可以高達(dá)20%;在鋁鈦硼三元合金的基礎(chǔ)上,還可以加入其它組元獲得更多組元的合金靶材;由于采用較低溫度和較大壓力的固相燒結(jié)方法,避免了低熔點(diǎn)合金元素的熔化和流動,通過擴(kuò)散作用,實(shí)現(xiàn)高熔點(diǎn)元素與低熔點(diǎn)元素之間的合金化;本發(fā)明工藝流程短,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,生產(chǎn)成本低,適合批量化生產(chǎn)。??