一種光伏電池電極的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110229007.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112993087A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112993087A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) H01L31/18;H01L31/0224 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姚宇;李中天 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州太陽(yáng)井新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州吳韻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王銘陸
地址 215127 江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路128號(hào)3幢4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光伏電池電極的制作方法，包括以下步驟：將含光敏成分的液態(tài)掩膜材料沉積到表面為介質(zhì)層或透明導(dǎo)電氧化物或?qū)щ姺N子層的光伏器件的表面上；將所述掩膜材料的部分區(qū)域暴露在激光下，其中曝光的區(qū)域發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；顯影以使未曝光區(qū)域的掩膜材料從光伏器件的表面去除，使得介質(zhì)層或透明導(dǎo)電氧化物或?qū)щ姺N子層暴露，從而形成掩膜材料的局部開(kāi)口；刻蝕介質(zhì)層使半導(dǎo)體層暴露在開(kāi)口位置，進(jìn)而通過(guò)電化學(xué)沉積的方式將導(dǎo)電材料附著到開(kāi)口位置的半導(dǎo)體表面；或在開(kāi)口的透明導(dǎo)電氧化物或?qū)щ姺N子層上通過(guò)電化學(xué)沉積的方式將導(dǎo)電材料附著到局部開(kāi)口的光伏器件表面上；去除表面的掩膜材料。