一種芯片檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121417260.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215003731U 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN215003731U 申請公布日 2021-12-03
分類號 G01D21/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王琿榮;晁陽升;梁永鑫 申請（專利權(quán)）人 湖南奧創(chuàng)普科技有限公司
代理機構(gòu) 北京易捷勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 齊勝杰
地址 410000湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)岳麓西大道588號芯城科技園2棟7樓7011房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種芯片檢測裝置，其包括基座、第一搬運裝置、第二搬運裝置、第一檢測裝置和第二檢測裝置。第一搬運裝置包括第一運送機構(gòu)和第二運送機構(gòu)，第一運送機構(gòu)和第二運送機構(gòu)的運動方向平行且均能夠在y軸方向上運動。第二搬運裝置第三運送機構(gòu)和第四運送機構(gòu)，第三運送機構(gòu)和第四運送機構(gòu)的運動方向均與y軸方向平行。第一檢測裝置包括翻轉(zhuǎn)機構(gòu)和底面檢測相機機構(gòu)，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)能夠在z軸方向上運動，底面檢測相機機構(gòu)設(shè)置于翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的上方。第二檢測裝置包括光軸線相互正交的頂面檢測相機機構(gòu)和端面檢測相機機構(gòu)。兩個搬運通道同時工作，效地加快了設(shè)備的節(jié)拍，提高工作效率。整個檢測過程均無需人工參與，提高了檢測的精度和檢測效率。