一種芯片檢測(cè)設(shè)備的校正裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122039337.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215768309U 公開(公告)日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN215768309U 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類號(hào) G01N21/956(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 晁陽(yáng)升;蔡浪滔;王宇峰;梁永鑫 申請(qǐng)(專利權(quán))人 湖南奧創(chuàng)普科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京易捷勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張珍珍;李麗敏
地址 410000湖南省長(zhǎng)沙市高新開發(fā)區(qū)岳麓西大道588號(hào)芯城科技園2棟7樓7011房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種芯片檢測(cè)設(shè)備的校正裝置,其包括底板、校正安裝機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)以及定位相機(jī);所述校正安裝機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述底板上,所述校正安裝機(jī)構(gòu)能夠在x軸和y軸方向上運(yùn)動(dòng),所述x軸方向與所述y軸方向相互垂直且均與水平面平行;所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述校正安裝機(jī)構(gòu)上,所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)用于放置待檢測(cè)的芯片,所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)能夠以豎直線為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn);所述定位相機(jī)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)的上方。校正裝置通過校正安裝機(jī)構(gòu)對(duì)轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)上的芯片進(jìn)行x軸和y軸方向上的校正,再通過轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)對(duì)芯片的角度進(jìn)行校正,以保證轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)上的芯片位于預(yù)先設(shè)定的位置,以便于芯片檢測(cè)設(shè)備從校正裝置上快速取/放芯片,有效地提高了芯片檢測(cè)設(shè)備的工作效率。