紅外焦平面探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710600470.5 申請日 -
公開（公告）號 CN108987523A 公開（公告）日 2018-12-11
申請公布號 CN108987523A 申請公布日 2018-12-11
分類號 H01L31/103;H01L31/18;H01L27/144 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 白謝暉 申請（專利權(quán)）人 浙江英孚萊德光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京清源匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京弘芯科技有限公司;北京英孚雷德光電科技有限公司
地址 100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)榮昌東街甲5號3號樓401-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種紅外焦平面探測器，其包括硅片襯底、復(fù)數(shù)個紅外探測單元構(gòu)成的紅外探測器陣列、硅讀出電路、以及復(fù)數(shù)個銦柱；紅外探測器陣列設(shè)置于所述硅片襯底的其中一側(cè)；復(fù)數(shù)個銦柱設(shè)置于紅外探測器陣列和硅讀出電路之間，將紅外探測器陣列的每一紅外探測單元和硅讀出電路相連。本發(fā)明還提供一種紅外焦平面探測器的制備方法。本發(fā)明的紅外焦平面探測器不僅解決了現(xiàn)有的紅外焦平面探測器由于紅外探測器陣列和硅讀出電路兩部分的材料不同導(dǎo)致熱膨脹系數(shù)不同引起的紅外焦平面探測器使用壽命短，使用成本高的問題，而且其結(jié)構(gòu)簡單，易實現(xiàn)，制造成本低，且減少了對入射的紅外輻射的反射和吸收，提高了進光量。