一種硅片拋光裝置及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111298164.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114131492A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114131492A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B29/02（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 楊陽(yáng);楊振華;季富華;管家輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 弘元綠色能源股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京睿博行遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張燕平 |
| 地址 | 214100江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)雪浪街道南湖中路158號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片拋光裝置及其使用方法。一種硅片拋光裝置及其使用方法，包括加工外殼，加工外殼的兩端均固定有立柱，兩個(gè)立柱的頂端裝配有一個(gè)固定下壓機(jī)構(gòu)，固定下壓機(jī)構(gòu)用于固定硅片并帶動(dòng)硅片進(jìn)行移動(dòng)，加工外殼內(nèi)部中心處固定有電動(dòng)機(jī)一。本發(fā)明通過(guò)除膠組件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得裝置在更換拋光墊的時(shí)候能夠方便快捷的對(duì)固定底盤(pán)上殘留的膠體進(jìn)行清洗，避免影響更換后的拋光墊的牢固度，也避免因?yàn)闅埩裟z體導(dǎo)致更換的拋光墊會(huì)有凸起影響拋光；通過(guò)清理組件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得裝置在清洗因拋光液殘留物形成的沉淀物時(shí)，較為方便快捷。 |
