一種硅片拋光裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111298164.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114131492A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114131492A 申請公布日 2022-03-04
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B55/00（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 楊陽;楊振華;季富華;管家輝 申請（專利權(quán)）人 弘元綠色能源股份有限公司
代理機構(gòu) 北京睿博行遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張燕平
地址 214100江蘇省無錫市濱湖區(qū)雪浪街道南湖中路158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片拋光裝置及其使用方法。一種硅片拋光裝置及其使用方法，包括加工外殼，加工外殼的兩端均固定有立柱，兩個立柱的頂端裝配有一個固定下壓機構(gòu)，固定下壓機構(gòu)用于固定硅片并帶動硅片進行移動，加工外殼內(nèi)部中心處固定有電動機一。本發(fā)明通過除膠組件的結(jié)構(gòu)設計，使得裝置在更換拋光墊的時候能夠方便快捷的對固定底盤上殘留的膠體進行清洗，避免影響更換后的拋光墊的牢固度，也避免因為殘留膠體導致更換的拋光墊會有凸起影響拋光；通過清理組件的結(jié)構(gòu)設計，使得裝置在清洗因拋光液殘留物形成的沉淀物時，較為方便快捷。