一種單硅晶片表面拋光裝置及使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111330781.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114102403A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114102403A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | B24B29/02（2006.01）I;B24B41/04（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/04（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/22（2006.01）I | 分類(lèi) | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 楊陽(yáng);楊振華;季富華;管家輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 弘元綠色能源股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京睿博行遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張燕平 |
| 地址 | 214100江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)雪浪街道南湖中路158號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種單硅晶片表面拋光裝置及使用方法，涉及單硅晶片技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括機(jī)身主體，還包括有：拋光機(jī)構(gòu)、橫向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)、硅片固定機(jī)構(gòu)、角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和硅片傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明通過(guò)各個(gè)配件的配合，能夠有效的對(duì)單硅晶片的各個(gè)角度進(jìn)行拋光打磨，且通過(guò)啟動(dòng)硅片傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)單硅晶片進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，能夠使拋光機(jī)構(gòu)較為均勻的對(duì)單硅晶片進(jìn)行打磨，從而大大的提升單硅晶片的表面光滑度，且通過(guò)設(shè)置可調(diào)節(jié)傳動(dòng)板能夠較為簡(jiǎn)單的調(diào)節(jié)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)行程，適用于不同尺寸的單硅晶片，簡(jiǎn)化了操作的工序。 |
