一種硅片的制造裝置及其使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111298169.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114199165A 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114199165A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) G01B11/30（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 楊陽(yáng);楊振華;季富華;管家輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 弘元綠色能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京睿博行遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張燕平
地址 214100江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)雪浪街道南湖中路158號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片的制造裝置及其使用方法，涉及硅片制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括機(jī)身主體，還包括有：硅片固定機(jī)構(gòu)，用以對(duì)硅片進(jìn)行自動(dòng)定位和固定；硅片固定機(jī)構(gòu)包括有硅片吸附機(jī)構(gòu)，硅片吸附機(jī)構(gòu)用以對(duì)硅片進(jìn)行固定，硅片吸附機(jī)構(gòu)配套設(shè)置有硅片定位機(jī)構(gòu)；轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用以帶動(dòng)硅片固定機(jī)構(gòu)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；硅片檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用以對(duì)硅片的平整度進(jìn)行檢測(cè)。本發(fā)明通過(guò)各個(gè)配件的配合，能夠自動(dòng)對(duì)硅片進(jìn)行定位和吸附，并通過(guò)帶動(dòng)硅片進(jìn)行勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，配合硅片檢測(cè)機(jī)構(gòu)能夠有效的對(duì)硅片側(cè)壁的平整度進(jìn)行檢測(cè)，有效的避免了因?yàn)楣杵欢鴮?dǎo)致的檢測(cè)結(jié)果出現(xiàn)錯(cuò)誤，從而大大的提升了檢測(cè)的準(zhǔn)確率，且檢測(cè)的難度較低，為使用者帶來(lái)極大的便利。