一種硅片的制造裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111298169.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114199165A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114199165A 申請公布日 2022-03-18
分類號 G01B11/30（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊陽;楊振華;季富華;管家輝 申請（專利權(quán)）人 弘元綠色能源股份有限公司
代理機構(gòu) 北京睿博行遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張燕平
地址 214100江蘇省無錫市濱湖區(qū)雪浪街道南湖中路158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片的制造裝置及其使用方法，涉及硅片制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括機身主體，還包括有：硅片固定機構(gòu)，用以對硅片進行自動定位和固定；硅片固定機構(gòu)包括有硅片吸附機構(gòu)，硅片吸附機構(gòu)用以對硅片進行固定，硅片吸附機構(gòu)配套設(shè)置有硅片定位機構(gòu)；轉(zhuǎn)動機構(gòu)，用以帶動硅片固定機構(gòu)進行轉(zhuǎn)動；硅片檢測機構(gòu)，用以對硅片的平整度進行檢測。本發(fā)明通過各個配件的配合，能夠自動對硅片進行定位和吸附，并通過帶動硅片進行勻速轉(zhuǎn)動，配合硅片檢測機構(gòu)能夠有效的對硅片側(cè)壁的平整度進行檢測，有效的避免了因為硅片偏位而導(dǎo)致的檢測結(jié)果出現(xiàn)錯誤，從而大大的提升了檢測的準(zhǔn)確率，且檢測的難度較低，為使用者帶來極大的便利。