用于硅單晶爐熱場(chǎng)拆清的高效清理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110284872.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113020165A 公開(公告)日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN113020165A 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) B08B9/087;B08B15/04 分類 清潔;
發(fā)明人 劉永龍;杜學(xué)敏;常永強(qiáng);張治國 申請(qǐng)(專利權(quán))人 呼和浩特市洪潤環(huán)祥科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市興科達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 覃曼萍
地址 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市金橋開發(fā)區(qū)阿木爾南街中晶研究院辦公樓一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于硅單晶爐熱場(chǎng)拆清的高效清理裝置,其用于清理石墨加熱器,包括底座、環(huán)形旋轉(zhuǎn)件、內(nèi)壁清理機(jī)構(gòu)、外壁清理機(jī)構(gòu)和吸塵機(jī)構(gòu),環(huán)形旋轉(zhuǎn)件設(shè)置于所述底座上,其上設(shè)置有用于固定石墨加熱器的固定部,其接受驅(qū)動(dòng)以自轉(zhuǎn);內(nèi)壁清理機(jī)構(gòu)包括多個(gè)豎向布置的第一條狀清理構(gòu)造,其固定于所述環(huán)形旋轉(zhuǎn)件的內(nèi)側(cè);外壁清理機(jī)構(gòu)包括多個(gè)豎向布置的第二條狀清理構(gòu)造,其固定于所述環(huán)形旋轉(zhuǎn)件的外側(cè);吸塵機(jī)構(gòu)的抽吸口位于所述內(nèi)壁清理機(jī)構(gòu)和外壁清理機(jī)構(gòu)之間。本發(fā)明提供的用于硅單晶爐熱場(chǎng)拆清的高效清理裝置,通過內(nèi)壁清理機(jī)構(gòu)和外壁清理機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨加熱器自動(dòng)清理,不需要操作人員手工清理,提升清理效率。