一種離子泵新型短抽口結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011559027.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112768337A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112768337A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | H01J41/12(2006.01)I;F04B39/12(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄭主安 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海三井光中真空設(shè)備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上?；ロ槍＠硎聞?wù)所（普通合伙） | 代理人 | 裴姣姣 |
| 地址 | 201708上海市青浦區(qū)華新鎮(zhèn)華強(qiáng)街675號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種離子泵新型短抽口結(jié)構(gòu)，涉及離子泵的技術(shù)領(lǐng)域，包括離子泵泵體，離子泵泵體的泵腔為真空腔體，真空腔體內(nèi)設(shè)有抽氣單元，在離子泵泵體頂部向下開(kāi)設(shè)有缺口；短抽氣管道，短抽氣管道沿豎向裝配在離子泵泵體頂部，短抽氣管道下端開(kāi)口與真空腔體相連通，短抽氣管道的頂部設(shè)有環(huán)形凸臺(tái)；松套法蘭，松套法蘭可轉(zhuǎn)動(dòng)的套設(shè)在短抽氣管道上。本發(fā)明的離子泵新型短抽口結(jié)構(gòu)的離子泵泵體上開(kāi)設(shè)缺口，增加了螺栓的操作空間，螺栓能夠在缺口內(nèi)向上插入松套法蘭的螺栓孔中，進(jìn)而能夠縮短短抽氣管道的長(zhǎng)度，同時(shí)保證缺口和松套法蘭之間的距離足夠螺栓擺正螺栓，在縮短短抽氣管道的長(zhǎng)度后能夠大大提高抽氣管道的流導(dǎo)，顯著提高了離子泵的抽速。?? |
