一種濺射離子泵烘烤裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011559631.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112815630A 公開（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112815630A 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類號(hào) F26B5/04;F26B9/06;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/12 分類 干燥;
發(fā)明人 鄭主安 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海三井光中真空設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上?；ロ槍＠硎聞?wù)所（普通合伙） 代理人 裴姣姣
地址 201708 上海市青浦區(qū)華新鎮(zhèn)華強(qiáng)街675號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種濺射離子泵烘烤裝置，包括離子泵泵體，離子泵泵體的泵腔為真空腔體，真空腔體內(nèi)設(shè)有抽氣單元，離子泵泵體上端中部固定安裝有抽氣通道，且抽氣通道與真空腔體內(nèi)部相通，抽氣通道上端固定連接有真空法蘭，離子泵泵體的真空腔體內(nèi)部設(shè)有烘烤加熱器。本發(fā)明的濺射離子泵烘烤裝置將烘烤加熱器置于離子泵泵體的泵腔內(nèi)部，烘烤加熱器直接對(duì)內(nèi)泵體內(nèi)壁烘烤加熱，烘烤效率高，且烘烤加熱器遠(yuǎn)離磁體，磁體不易高溫退磁，這種就可以選用磁性更強(qiáng)而耐溫稍低的磁體，濺射離子泵的烘烤加熱器位于離子泵泵體的泵腔內(nèi)部，對(duì)抽氣單元的烘烤加熱效果顯著提高。