樣片自動(dòng)清洗蝕刻裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020178346.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211238178U | 公開（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211238178U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-11 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 巫海蒼;周穎聰;宋一品;梁寒瀟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州極刻光核科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓唐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 崔金 |
| 地址 | 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)5幢102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型申請(qǐng)公開了一種自動(dòng)清洗蝕刻裝置，包括，底座和支架；燒杯架、旋轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動(dòng)單元，所述燒杯架通過所述旋轉(zhuǎn)軸與所述驅(qū)動(dòng)單元連接，所述驅(qū)動(dòng)單元通過支架與所述底座連接；花籃，設(shè)置在所述底座上方，與所述驅(qū)動(dòng)單元連接的用于承載樣片的容器；所述燒杯架上至少承載2個(gè)燒杯，所述驅(qū)動(dòng)單元通過所述旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)所述燒杯架上的燒杯旋轉(zhuǎn)至花籃下方，所述花籃在所述驅(qū)動(dòng)單元的帶動(dòng)下置入所述燒杯中，并與燒杯中的液體發(fā)生反應(yīng)。本實(shí)用新型申請(qǐng)解決了由于非標(biāo)尺寸的樣片因無(wú)法應(yīng)用現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行批量處理而采用人工操作，造成的費(fèi)時(shí)費(fèi)力、成本高、安全系數(shù)低以及無(wú)法標(biāo)準(zhǔn)化流程的技術(shù)問題。?? |
