電極探針連接裝置和系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020178179.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211826169U | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請公布號 | CN211826169U | 申請公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號 | G01R1/04(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 巫海蒼;周穎聰;宋一品;梁寒瀟 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州極刻光核科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京卓唐知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 卜榮麗 |
| 地址 | 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)5幢102室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請公開了一種電極探針連接裝置和系統(tǒng)。該電極探針連接裝置包括：探針機構(gòu)和用于放置待測芯片的載物臺；所述探針機構(gòu)包括多自由度驅(qū)動座、探針支架和用于檢測所述待測芯片的電極探針，所述多自由度驅(qū)動座設(shè)置在所述載物臺的一側(cè)；所述電極探針連接在所述探針支架的第一端，所述探針支架的第二端連接在所述多自由度驅(qū)動座上，以使所述多自由度驅(qū)動座驅(qū)動所述探針支架的第二端以多自由度移動，并使所述探針機構(gòu)接觸或遠(yuǎn)離所述待測芯片。本申請可以解決相關(guān)技術(shù)中無法穩(wěn)定地將電極探針穩(wěn)定連接在芯片上的技術(shù)問題。?? |
